2025-07-15 注册会员(免费) 我的商务中心 广告服务 最新发布  首页
首 页 供求商机 产品库 公司库 产品报价 化工资讯 行业展会 价格行情 分析预测 人才招聘 化工词典 产品专题
行业专网: 石油网 | 无机网 | 有机网 | 塑料网 | 橡胶网 | 涂料网 | 农化网 | 助剂网 | 设备网 | 仪器网 | 煤炭网 | 环保 | 建材 | 回收 | 物流
您的位置:主页 > 化工资讯 > 氢氧化四甲基胺对硅的刻蚀
氢氧化四甲基胺对硅的刻蚀

2025-07-15 化工产品网

氢氧化四甲基胺(TMAH)是一种常用的硅刻蚀液。它是一种具有强碱性的有机化合物,可以在高温下迅速刻蚀硅表面,使其形成所需的结构。

TMAH的刻蚀机理是通过氢氧化物离子(OH-)的攻击来达到的。在高温下,TMAH中的OH-离子会与硅表面的Si-O键形成水解反应,从而产生二氧化硅(SiO2)和甲醇(CH3OH)。这些产物与TMAH反应,再次释放OH-离子,从而形成一个刻蚀的循环。

TMAH的刻蚀速率与温度、浓度、时间和硅的取向等因素有关。通常,较高浓度和温度下的刻蚀速率更快。同时,TMAH对于[100]晶向的硅表面刻蚀速率最快,对于[111]晶向的硅表面刻蚀速率最慢。

但是,TMAH也存在一些缺点。首先,它是一种有机化合物,具有挥发性和毒性,需要在实验室中谨慎操作。其次,TMAH的刻蚀速率难以控制,容易导致表面不均匀或过度刻蚀。此外,TMAH还会对光刻胶产生损伤,因此需要特殊处理。

综上所述,TMAH是一种常用的硅刻蚀液,其刻蚀机理是通过氢氧化物离子的攻击实现的。尽管存在一些缺点,但在正确的条件下,TMAH可以快速、有效地刻蚀硅表面,为微电子制造和微纳加工提供了重要的工具。


关键词: 江苏苯乙烯厂家有哪些 聚四氟乙烯喷涂设备 作者: 化工网
相关信息:
· 赤霉素的生产厂家有哪些
· 挖掘机橡胶履带好还是铁履带好?
· 电子天平厂家哪家好
· 惠州宇新化工有限责任公司官网
· 甲醇可燃气体探测器
· 羧甲基纤维素钠的物化性质是
· 三羟基聚醚多元醇
· 2苯氨基3甲基6二丁氨基荧烷变色原理
· 荧光增白剂ob添加量
· 羟甲基纤维素钠别名
· 江门优质电镀化工原料厂家有哪些
· beta氨基丙酸
· d氨基葡萄糖硫酸钾盐功效
· 低密度聚乙烯树脂有毒吗
· 水泥沙浆胶粉规格
· 煤制甲醇的副产品

  免责声明:化工产品网对刊登之所有信息不声明或保证其内容之正确性或可靠性;您于此接受并承认信赖任何信息所生之风险应自行承担。化工产品网,有权但无此义务,改善或更正所刊登信息任何部分之错误或疏失。
热门产品行情
纯碱 烧碱 片碱 硫磺 硫酸 液氯
煤炭 焦炭 硼酸 黄磷 电石 石蜡
氯化钙 碳酸钙 氧化锌 双氧水 碳黑 乙二醇
甲醇 正丁醇 二甲苯 甲苯 纯苯 沥青
TDI DOP 汽油 柴油 塑料 ABS
PP PVC PE LLDPE PS 更多
今日推荐信息
·氢氟酸价格甲基红-亚甲基蓝指示剂 2025-07-15
·外墙聚苯板保温施工报价 2025-07-15
·氨基酸乳液的功效与作用 2025-07-15
·大型烘干机价格图片及价格 2025-07-15
·聚合级丙烯国家标准 2025-07-15
·大口径波纹管哪家专业 2025-07-15
·可溶性淀粉的用途 2025-07-15
·甲醇洗工作温度和压力 2025-07-15
·针入度试验三个试验条件 2025-07-15
·硅酸铝保温砂浆配方 2025-07-15
产品信息导航
无机化工 化学矿 橡胶原料 有机化工
橡胶制品 化学纤维 农药 化肥
涂料 颜料 染料 化学试剂
化学助剂 胶粘剂 化工机械 食品添加剂
塑料 塑料机械 橡胶机械 仪器仪表
原油及制品 合成树脂 其它 环保材料
化工回收 化工物流 工程服务 建材
农产品 商务服务 钢材管材 电工电气
热门资讯排行
·山梨酸钾的用途和性能
·n-乙酰基-5甲氧基色胺对人体作用
·胶体磨哪个品牌好
·挥发性有机物检测仪器
·50升液氮罐的规格
·化工产品价格免费查询软件
·啤酒花哪里能买到
·右旋葡萄糖苷的作用
·磁翻板液位计调试说明
·厂家直销压力灌装机器
热点地区导航
北京 上海 天津 重庆 哈尔滨 长春
沈阳 呼和浩特 石家庄 乌鲁木齐 兰州 银川
太原 济南 西宁 南京 成都 西安
郑州 武汉 合肥 杭州 南昌 长沙
贵阳 昆明 南宁 广州 福州 海口
设为首页 | 加入收藏 | 网站地图 | 隐私声明 | 法律声明 | 服务条款 | 服务指南 | 关于我们 | 每日最新 产品库 商机云
Copyright ©2004-2023 化工产品网